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仿真实验项目 / 其他实验项目 / (实验七)湿法刻蚀和干法刻蚀的工艺仿真实验 / 实验程序
本次申报——2017年度示范性虚拟仿真实验教学项目
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(实验七)湿法刻蚀和干法刻蚀的工艺仿真实验
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湿法刻蚀和干法刻蚀中改变各向同性刻蚀速率
湿法刻蚀中改变刻蚀时间的工艺模拟