您现在的位置： 主页 > 仿真实验项目 > 其他实验项目 > （实验七）湿法刻蚀和干法刻蚀的工艺仿真实验 > 实验程序 >

湿法刻蚀和干法刻蚀中改变各向同性刻蚀速率

点击数：   

  etch_mask.str

  rie_dry_etch.str

  wet_etch.str

  湿法刻蚀和干法刻蚀的效果比较.in