已有建设条件
中心经过十余年建设,构建了3大实验系统9个虚拟仿真实验平台,如图1所示,每年支持微电子科学与工程、集成电路设计与集成系统等10个本科专业2400余人的专业课程实验,同时支撑研究生每年近360余人的专业课程实验和科研实践,还对周边相关企业、科研院所提供必要的服务。近年来,学校特别注重加强虚拟实验中心的建设,提升实践环节的教学效果,进一步提高我校集成电路人才培养质量。

图1 集成电路设计与制造虚拟仿真实验教学中心架构
>> 软硬件资源
实验中心拥有完善的虚拟仿真实验软硬件平台,总面积约3370平方米,虚拟实验中心软硬件设备总价值超过6000万元,包括Silvaco、Synopsys、Cadence、Mentor等公司授权和自主研发的软件多套,拥有23台高性能计算服务器和300多台PC机,在3大系统9个虚拟仿真实验平台基础上,开设了52个虚拟仿真实验项目,可实现年150000人时虚拟教学实验任务。
集成电路工艺虚拟仿真实验系统含2个平台,由Silvaco、ISE和自主开发的WiseQ Basic软件支撑,实现集成电路芯片制造中氧化、光刻、掺杂、薄膜制备等工序及工艺集成仿真,开设实验13个。
半导体器件原理虚拟仿真实验系统含3个平台,依托Silvaco、Synopsys和自主研发的XDMOS-3S软件,能够完成各种半导体器件电学、力学、热学等特性分析以及可靠性评估,开设实验16个。
电路与系统虚拟仿真实验系统含4个平台,基于Synopsys、Cadence、Mentor等工具,可实现14nm工艺制程的芯片系统架构、逻辑设计、电路综合、版图实现等设计仿真过程,开设实验23个。
>> 师资力量
中心目前已形成了一支学术水平高、理论与实验结合能力强、年龄与知识结构合理、勇于创新、爱岗敬业的师资队伍,现有专兼职教师38人,其中具有博士学位的教师占教师总数的85%,其余教师均具有硕士学位。
中心重视实验教学队伍能力的提高,并采取了具体有效的措施。如鼓励青年教师在职攻读博士学位,派遣青年教师赴国内外培训(每年2-4人次),邀请校内外具有丰富教学和实验经验的专家、学者来中心示范讲学,举办青年教师讲课和实验技能竞赛以及课件评比,使青年教师的教学水平不断提升。
为促进实验教学的内容和形式符合产业发展的需求,中心还聘请国内外集成电路知名企业专家做兼职教师,邀请其前来中心授课、举办学术讲座或进行专项培训。英飞凌有限公司的富保罗博士每年为中心讲授《数字集成电路低功耗设计》课程,其中有30学时为虚拟仿真实践。